| |
Финоменологическое описание процесса диспергирования на капли тонких пленок кремния толщиной 8-60 нм на инертной поверхности Al2O3 [Текст] / А. А. Буздуган, С. А. Гаврилов, Д. Г. Громов [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 2. – 21-28.
Исследован процесс диспергирования аморфных тонких пленок кремния толщиной 8-60 нм на поверхности оксида алюминия с использованием методов растровой электронной микроскопии и измерения тока через тонкую пленку непосредственно в процессе нагрева в вакууме |
