| |
Интегральные датчики даавления на основе структур КНС [Текст] / Н. Бушуев, Ю. Васьков, Д. Мартынов, В. Стучебников
// Электронные компоненты. – 2006. – № 11. – 87,88.
В статье описывааются малогабаритные датчики давления МИДА-13П-КН и МИДА-12К на основе тензочувствительных элементов "кремний-на-сапфире" разработкки и производства ПГ МИДА |
