| |
Особенности роста пленок нитрида углерода в присудствии травящих компонент в ростовой атмосфере [Текст] / Р. Шалаев, А. Прудников, В. Варюхин [et al.]
// Физика и техника высоких давлений. – 2006. – 16, № 3. – 88-95.
Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонентов в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N |
