| |
Марченко, И. Г.
Компьютерное моделирование формирования наноструктуры пленок ниобия при низкотемпературном вакуумном осаждении [Текст] / И. Г. Марченко, И. М. Неклюдов
// Доповіді НАНУ. – 2005. – № 8. – 100-105.
Целью данной работы было исследование процессов формирования наноструктуры пленок при низкотемпературном вакуумном осаждении |
