Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
          Зайцев, Н. А.
    Исследование кинетики начального этапа высокотемпературного окисления кремния в сухом кислороде [Текст] / Н. А. Зайцев, И. В. Матюшкин
    // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2006. – № 2. – 9-17.

   Рассмотрен начальный этап кинетики высокотемпературного окисления кремния в атмосфере сухого кислорода

  УДК 621.315.592.01


            



Теми документа
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'