| |
Расчет технологических допусков в электростатических линзах для электронно-лучевых микроколонн [Текст] / М. Д. Бельский, А. В. Суворинов, Т. С. Филипчук, С. Ю. Шахбазов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2006. – № 1. – 76-83.
Построены математические модели для возмущений полей и траекторий электронов |
