| |
Скворцов, А. М.
Микроструктурирование поверхности монокристаллов кремния в электронной технике [Текст] / А. М. Скворцов, Ю. А. Жарова, В. Л. Ткалич
// Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2006. – 49, № 1. – 60-65.
Для разработки и изготовления изделий наноэлектроники и оптоэлектроники требуется специальная обработка поверхности полупроводников |
