|
О снижении остаточных напряжений в вакуум-плазменных покрытиях дискретной структуры [Текст] / В. С. Антонюк, Б. А. Ляшенко, Е. Б. Сорока, А. В. Рутковский // Сверхтвердые материалы. – 2005. – № 2. – 72-75.
Определены остаточные напряжения в вакуум-плазменных покрытиях на основе нитрида титана |