| |
Алгоритм управления температурным режимом в быстрых термических процессах [Текст] / В. А. Бархоткин, Ю. П. Райнова, А. И. Терентьев, А. Ю. Райнов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 6. – 46-51.
Представлен алгоритм минимизации температурного градиента подложки в реакторе для быстрых термических процессов за счет регулирования газодинамических условий |
