| |
Соловей, В. В.
Диагностика субмикронных приповерхностных повреждений в пластинах кремния после двухстороннего химико-механического полирования [Текст] / В. В. Соловей, Ю. М. Литвинов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 6. – 32-35.
Методом осесимметричного изгиба оценена максимальная глубина приповерхностных повреждений в пластинах кремния после первой и второй стадий двухстороннего химико-механического полирования |
