| |
Рогов, Р. В.
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок [Текст] / Р. В. Рогов, С. В. Мельничук, Г. И. Воробец
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 5. – 52-54.
Предложена модель технологической сети и создано программное обеспечение для контроля параметров и управления режимами технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
