| |
Баранов, В. В.
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами [Текст] / В. В. Баранов
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 5. – 42-46.
Рассмотрены физико-технологические ограничения при формировании твердотельных МОП-структур различного типа в составе кремниевых БИС и СИС |
