| |
Соловьев, О. В.
Способ электродугового восстановления кремния [Текст] / О. В. Соловьев, Б. П. Масенко, И. А. Хлопенова
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 4. – 60-61.
Разработан и опробован способ электродугового восстановления кремния из диоксида кремния с последующей промывкой кристаллов химическими методами |
