| |
Герасименко, Н. Н.
Самоорганизованные имплантированные наноразмерные структуры в полупроводниках [Текст] / Н. Н. Герасименко
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 4-5. – 107-112.
Рассмотрены экспериментальные результаты по созданию наноструктур с помощью радиационных методов - ионной имплантации и ионного синтеза |
