| |
Королев, М. А.
Приборно-технологическое моделирование при разработке изделий микроэлектроники и микросистемной техники [Текст] / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, Ю. А. Чаплыгин
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 4-5. – 64-71.
Рассмотрены роль приборно-технологического моделирования и основные направления его использования при разработке изделий микроэлектроники и микросистемной техники |
