| |
Смирнов, В. В.
Моделирование процесса термообработки подложек сапфира в аммиаке при гетероэпитаксии широкозонных нитридов [Текст] / В. В. Смирнов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 2. – 88-90.
Для повышения эффективности излучения оптоэлектронных приборов на основе гетероструктур широкозонных нитридов алюминия и галлия в технологии их выращивания на подложках сапфира используется буферный подслой нитрида алюминия |
