|
Булатов, А. Н. Полевой эффект в квазиодномерном канале на танталовых пленках [Текст] / А. Н. Булатов, В. К. Неволин // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 2. – С. 37-41.
Методом локального анодного окисления созданы квазиодномерные наносужения на основе пленок тантала. |