| |
Фрактальный анализ упорядоченности поверхностных микроструктур [Текст] / С. А. Апрелов, Г. Н. Гайдуков, Н. Н. Герасименко, Н. А. Медетов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 2. – 25-31.
Рассмотрены подходы к выявлению порядка/беспорядка поверхностных объектов на примере полученных с помощью ионной имплантации структур CoSi2 и SiGe |
