| |
Структура и состав слоев нитрида кремния, полученных в планарно-индукционном реакторе [Текст] / Ф. Н. Дульцев, В. В. Васильев, И. О. Парм, А. П. Соловьев
// Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2004. – № 9. – 34-38.
Разработан планарно-индукционный реактор, позволяющий получать однородные пленки на подложках размером до 150 мм |
