| |
Шахмаева, А. Р.
Метод удаления кристаллитов с поверхности кремниевой пластины [Текст] / А. Р. Шахмаева, Б. А. Шангерева, Ш. Д. Алиев
// Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2004. – № 7. – 63-65.
Рассматриваются результаты удаления методом химического травления с поверхности полупроводниковых пластин кристаллитов, образованных после высокотемпературных окислительных и диффузионных процессов при изготовлении полупроводниковых приборов |
