| |
Имплантация высокоэнергетичных ионов под действием фемтосекундного лазерного излучения [Текст] / Р. В. Волков, Д. М. Голишников, В. М. Гордиенко [et al.]
// Квантовая электроника. – 2005. – 35, № 1. – 33-37.
Предложена методика определения энергетических характеристик ионной компоненты лазерной плазмы по профилю концентрации имплантированных в подложку атомов |
