| |
Иванчиков, А.
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния [Текст] / А. Иванчиков, А. Кисель, А. Медведева
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 1. – 42-47.
Рассмотрены модель возникновения дефектов в виде пятен на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе на основе фтороводородной кислоты, а также модель удаления этих дефектов в растворах химикатов |
