| |
Турценвич, А.
Получение полуизолирющего кремния для высоковольтных приборов [Текст] / А. Турценвич
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2008. – № 1. – 35-41.
Исследовано влияние условий осаждения на структуру и электрофизические свойства пленок поликристаллического кремния, легированного кислородом |
