|
Макара, В. Вплив надвисокочастотного електромагнетного випромінювання на мікромеханічні властивості монокристалічного кремнію [Текст] / В. Макара, Л. Стебленко, А. Курилюк // Металлофизика и новейшие технологии. – 2008. – 30, № 2. – 235-246.
Одержано експериментальні результати, які вказують на зміну мікромеханічних властивостей монокристалічного кремнію під дією надвисокочастотного мікрохвильового випромінення |