| |
Колпаков, Ф. Ф.
Динамическое моделирование электростатически управляемого MEMS-конденсатора в диапазоне рабочих температур (293...323)К [Текст] / Ф. Ф. Колпаков, Н. Г. Борзяк
// Изв.ВУЗов.Радиоэлектроника. – 2008. – 51, № 5. – 33-42.
Предложена динамическая модель микроэлектромеханического конденсатора с электростатическим управлением на базе теории многостороннего преобразователя А.А. Харкевича с учетом теплового воздействия |
