| |
Ермошин, И. Г.
Оптимизация технологии получения гетероструктур GaN с использованием данных дифрактометрического анализа [Текст] / И. Г. Ермошин, И. Н. Цыпленков, Ю. Н. Свешников
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2008. – № 2. – 49-51.
Рассмотрена процедура оптимизации получения слоев нитридов |
