| |
О включениях углерода при выращивании слитков карбида кремния модифицированным методом Лэли [Текст] / Д. Д. Авров, С. И. Дорожкин, Ю. М. Таиров, А. Ю. Фадеев
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2008. – № 2. – 23-31.
Представлен анализ проблемы появления включений углерода в монокристалле карбида кремния при выращивании слитков карбида кремния |
