| |
Рахимов, Н. Р.
Технология изготовления координатно-чувствительного приемника оптического излучения на основе афн-пленок [Текст] / Н. Р. Рахимов, А. Н. Серьезнов, С. Х. Шамирзаев
// Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2008. – 51, № 5. – 56-60.
Изложена технология изготовления матричного координатно-чувствительного приемника оптического излучения на основе полупроводниковых соединений в виде ступенчатообразной пленки |
