| |
Использование волноводных фотонных структур для измерения параметров нанометровых металлических слоев на изолирующих подложках [Текст] / Д. А. Усанов, А. В. Скрипаль, А. В. Абрамов, А. С. Боголюбов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 6. – 25-32.
Представлены результаты исследования возможности применения фотонных волноводных структур для измерения параметров наномтровых металлических слоев на изолирующих подложках |
