| |
Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления [Текст] / С. П. Тимошенков, С. А. Зотов, В. В. Калугин [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2007. – № 4. – 44-50.
На основании конструкторской и технологической проработки составлена технологическая схема изготовления микромеханического реле с использованием группового способа сборки |
