| |
Оберемок, А. С.
Артефакти высокочастотного распыления при формировании информационного рельефа в стеклах [Текст] / А. С. Оберемок, И. А. Косско, А. А. Крючин
// Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2006. – 1(11). – 107-114.
Изучены закономерности и артефакты формирования информационного рельефа при помощи высокочастотного травления в кварцевом и борофосфорсиликатных стеклах |
