| |
Крапивко, Г. И.
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния [Текст] / Г. И. Крапивко
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 2. – 53-55.
Осуществлен метод лазерной гравировки, основанный на эффективном изменении кристаллической решетки при формировании текстурированной поверхности кристалла кремния |
