| |
Светличная, Л. А.
Получение и свойства пористого карбида кремния [Текст] / Л. А. Светличная, Н. Н. Московченко, П. В. Серба
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 1. – 53-57.
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, его свойства, влияние состава электролита, времени травления и плотности тока на морфологию пористого слоя |
