|
Джвадов, Н. Г. Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах [Текст] / Н. Г. Джвадов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 1. – 40-41.
Предложено использовать мелкозернистые пленки поликристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен |