| |
Спирин, В. Г.
Перспективы развития тонкопленочных микросборок [Текст] / В. Г. Спирин
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2005. – № 1. – 3-6.
На основе анализа некоторых конструктивно-технологических вариантов рассмотрены перспективы повышения интеграции тонкопленочных микросборок с подложкой из ситалла, поликора, сапфира, кремния |
