| |
Беграмбеков, Л. Б.
Система управления установкой для напыления покрытий в плазме газового разряда [Текст] / Л. Б. Беграмбеков, А. М. Калачев
// Приборы и техника эксперимента. – 2004. – № 6. – 142-143.
Приведена блок-схема системы управления напылительной установки |
