| |
Нагреватель подложек в сверхвысоком вакууме [Текст] / В. Г. Шенгуров, С. П. Светлов, В. А. Толомасов, В. Ю. Чалков
// Приборы и техника эксперимента. – 2004. – № 5. – 158-160.
Описано устройство равномерного прогрева подложек для молекулярно-лучевой эпитаксии до температуры 1450 градусов Цельсия |
