| |
Плазменная установка для нанесения покрытий на поверхность твердых тел "Яшма-2" [Текст] / П. С. Ананьин, Д. Д. Баинов, Л. Г. Косицын [et al.]
// Приборы и техника эксперимента. – 2004. – № 4. – 138-141.
Описана лабораторная установка для нанесения покрытий на поверхность твердых тел с помощью плазмы магнетронного разряда и ионных пучков |
