| |
Терпий, Д. Н.
Прогнозирование состава и свойств пленок, полученных ионно-плазменным распылением [Текст] / Д. Н. Терпий, П. И. Игнатенко, В. В. Петухов
// Металлофизика и новейшие технологии. – 2004. – 26, № 8. – 1063-1068.
Изложены результаты, касающиеся изменений состава, структуры и свойств пленок, вызванных изменениями энергетического спектра конденсирующихся атомов |
